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了解更多2018年1月16日 1 CVD法制备的工艺流程. CVD法制备石墨烯的基本过程是:把基底金属箔片放入炉中,通入氢气和氩气或者氮气保护加热至1000℃左右,稳定温度,保持20 min左右;然后停止通入保护气体,改通入碳源(如甲烷)气体,大约30 min,反应完成;切断电源,关闭甲烷气体 ... 观点丨CVD法制备石墨烯的工艺流程详解 – 材料牛2018年1月16日 1 CVD法制备的工艺流程. CVD法制备石墨烯的基本过程是:把基底金属箔片放入炉中,通入氢气和氩气或者氮气保护加热至1000℃左右,稳定温度,保持20 min左右;然后停止通入保护气体,改通入碳源(如甲烷)气体,大约30 min,反应完成;切断电源,关闭甲烷气体 ...
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